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真空蒸着装置
アルバック製
型式:VPC-410
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イオンミリング装置
日立製
型式:E-3500
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クイックコーター(スパッタ装置)
サンユー電子製
型式:SC-701 MKU
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クイックコーター(スパッタ装置)
サンユー電子製
型式:SC-701
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スパッタリング装置 (RFスパッタ)
アネルバ製
型式:SPF-430
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クイックコーター (スパッタ装置)
サンユー電子製
型式:SC-708
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真空蒸着装置
JEOL製(日本電子)
型式:JEE-400
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イオンスパッタ
日立製
型式:E-1020
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プラズマクリーナー
ムサシノ電子製(FISCHIONE)
型式:Model.1020
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UVランプ加熱装置
アルバック理工製
型式:MILA-5000
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UVランプ加熱装置
アルバック理工製
型式:MILA-3000
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クイックコーター(スパッタ装置)
サンユー電子製
型式:SC-701AT
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ファインコーター(スパッタ装置)
JEOL製(日本電子)
型式:JFC-1600
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イオンスパッタ
真空デバイス製
型式:MSP-1S
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プラズマ処理装置 (親水化処理装置)
JEOL製(日本電子製)
型式:HDT-400
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CVD装置 (卓上型)
MP製(MPONT)
型式:PRM400W50L
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プラズマCVD装置
サムコ製
型式:PD-220
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ヘリウムリークディテクター
島津製
型式:MSE-3200R
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ヘリウムリークディテクター
アルバック製
型式:HELIOT 704
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真空蒸着装置
アルバック製
型式:VPC-410A
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ツインコーター
日本電子製(JEOL)
型式:JFC-550
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ヘリウムリークディテクター
アネルバ製
型式:ASM110
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ドライエッチング装置
ナノテック製
型式:NCP-400
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ヘリウムリークディテクター
アネルバ製
型式:M-212LD
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クイックコーター
日本電子&サンユー電子製
型式:JFC-1500
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ファインコーター
日本電子製(JEOL)
型式:JFC-1300
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イオンスパッタ装置
型式:TM-SC101
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真空排気装置
大阪真空製
型式:TG220FVAB(TMP) POMPING UNIT
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真空蒸着装置
日本電子製(JEOL)
型式:JEE-420
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カーボンコーター
日本電子製(JEOL)
型式:JEC-560
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真空蒸着・イオンスパッタ共用装置
サンユー電子製
型式:SVC-720
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カーボンコーター
真空デバイス製
型式:VC-100
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ファインコーター
JEOL製(日本電子)
型式:JFC-1200
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カーボンコーター
JEOL製(日本電子)
型式:JEC-520
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真空蒸着装置 (小型蒸着機)
日本電子製(JEOL)
型式:JEE-420T
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クイックコーター
サンユー電子製
型式:SC-701C
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真空蒸着装置 (小型蒸着機)
日本電子製(JEOL)
型式:JEE-450D
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ヘリウムリークディテクター
アルバック製
型式:DLMS-TP3E
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ヘリウムリークディテクター
ファイファー製
型式:HLT570
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真空蒸着機 (小型蒸着装置)
日立製
型式:HUS-5GB
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スパッタリング装置 (マグネトロンスパッタ)
日本電子製
型式:JUC-5000
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真空蒸着装置 (小型蒸着機)
日本電子製
型式:JEE-400
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カーボンコーター
メイワ製
型式:CC-40F
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イオンスパッタ
日本電子製【JEOL製)
型式:JFV-1100E
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真空排気ユニット
PIC製
型式:‐‐‐‐‐
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真空デシケーター
日本電子製(JEOL製)
型式:EM-DSC10E
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保護膜コーティング装置
PIC製
型式:SCPICmini
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真空蒸着機
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イオンコーター/カーボンコーター
JEOL製(日本電子製)
型式:JEC-530
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イオンスパッタ
日立製
型式:E-1045
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売却済 |
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イオンコーター(QUICK COATER)
サンユー電子製
型式:SC-701
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スパッタリング装置
ANELVA製
型式:SPF-332H
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プラズマクリーナー
ヤマト科学製
型式:PDV-210
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スパッタ装置
アネルバ製
型式:SPF-530H
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ヘリウムリークディテクター
島津製 型式:MSE-3200
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ICPエッチャー
STS製 型式:MESC
Multiplex ICP
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RF電源(高周波電源)/マッチングボックス
ENI製 型式:RFC-5
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RFプラズマ電源(高周波電源)/マッチングボックス
AD-TEC製(アドテック製) 型式:AX-3000V
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売却済 |
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プラズマアッシング装置
プラズマシステム製 型式:PE-615L
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プラズマアッシャー
モリエンジニアリング製 型式:PB-600
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スパッタリング装置(RFスパッタ)
神鋼製 型式:SRV4220型
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真空蒸着機
アルバック製 型式:EBX-12C
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イオンスパッタ(卓上スパッタ装置)
日立製 型式:E-1030
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製膜装置
サムコ製 型式:PD-200D
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プラズマアッシャー
プラズマシステム製 型式:DES-106-254E
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ドライエッチング装置
アネルバ製 型式:DEM-451M
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蒸着機
アネルバ製 型式:EVC-1501
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RF電源(スパッタ電源)
ENI製 型式:OEM-10B
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ヘリウムリークディテクター
アネルバ製
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RF電源(スパッタ電源)
AD-TEC製(アドテック)
型式:AX-1000 型式:AX-2000
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RF電源(スパッタ電源)
アルバック製
型式:PRF-065B
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DC電源(スパッタ電源)
アドバンスドエナジー製 DC電源:MDXシリーズ
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