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ヘリウムコンプレッサー （クライオコンプレッサー）
大陽日酸製 型式：CCT-CK11003C
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クライオコンプレッサー （ヘリウムコンプレッサー）
イワタニ製 型式：CW603
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クライオコンプレッサー （ヘリウムコンプレッサー）
鈴木商館製 型式：CCT-CK11003GA
（アイシン ： TAC221LA）
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ダイアフラム型真空ポンプ
アルバック製 型式：DA-15S 到達圧力200Torr 排気速度12/15
L/min
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ポータブルアスピレーター
アルバック製 型式：MDA-015 到達圧力6.6kPa 排気速度12
L/min(50Hz)
捕集ビン450cc ダイアフラム型真空ポンプ内蔵
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ドライポンプ用省電力化アタッチメント
アルバック製
型式：ES-10
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スクロールポンプ
ブッシュ製（BUSCH） 型式：DSR-500
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スクロールポンプ
アネストイワタ製 型式：ISP-500B
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ターボ分子ポンプ
エドワーズ製
型式：STP-A803C
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ドライポンプ
アルバック製
型式：PDR-090CL
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ターボ分子ポンプ
島津製
型式：TMP202-LM フランジ形状VG100
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ターボ分子ポンプ
島津製
型式：TMP202-LM フランジ形状ICF152
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ロータリーポンプ
アルカテル製
型式：2063SD
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油拡散ポンプ（DP）
大亜真空製
型式：DPF-4Zs
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ディフュージェンポンプ（拡散ポンプ）
日本電子製
型式：DP-2.5E
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拡散ポンプ
大亜真空製
型式：DPF-6Z
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クライオコンプレッサー
へリックステクノロジー製（HELIX）
型式：9600
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イオンポンプ
アネルバ製
型式：912-7120 コントローラー：PIC-050NP
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ドライポンプ
樫山製
型式：MU100 1000L/m
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ドライポンプ
アルバック製
型式：PDR-180CN
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ロータリーポンプ
アルバック製
型式：EC603
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ロータリーポンプ
アルバック製
型式：VD301
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ロータリーポンプ
アルバック製
型式：D-650DK
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メカニカルブースターポンプ
アルバック製
型式：PRC-012A 型式：PMB012CM
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ターボ分子ポンプ
EBARA製（荏原）
型式：ET300-UZ
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クライオコンプレッサー
へリックス（HELIX）製
型式：9600
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クライオコンプレッサー
鈴木商館製
型式：C300
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クライオコンプレッサー
アルバック製
型式：CRC-870MKⅡ 型式：CRC-420MKⅡ
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クライオコンプレッサー
アルバック製
型式：C30ZR
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ターボ分子ポンプ
PFEIFFER/BALZERS製
型式：TPU-062
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ターボ分子ポンプ
大阪真空製 型式：TG-203
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ターボ分子ポンプ
SEIKO精機製 型式：TP-300H
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ドライ真空ポンプ
荏原製 型式：A07V
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ドライ真空ポンプ
アネルバ製 型式：V060HB
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ターボ分子ポンプ用コントローラー
PFEIFFER製
型式：TCP121 or DCU100
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ターボ分子ポンプ
PFEIFFER製 型式：TPH240
or TMH260H
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ドライ真空ポンプ
樫山製 型式：HC06B
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ドライ真空ポンプ
荏原製 型式：ESR20N
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ロータリーポンプ（油回転ポンプ）
エドワーズ製 型式：RV12
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ロータリーポンプ
エドワーズ製 型式：E2M2
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ロータリーポンプ
エドワーズ製 型式：E2M18
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ターボ分子ポンプ（TMP）
アルバック製
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ターボ分子ポンプ（TMP）
島津製
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ターボ分子ポンプ（TMP）
三菱重工製
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ターボ分子ポンプ TMP
大阪真空製（OSAKA）、PFEIFFER製、LEYBOLD製、Edwards製
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大阪真空製
（OSAKA）
PFEIFFER製
LEYBOLD製
Edwards製
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クライオコンプレッサー ヘリウムコンプレッサー
各種
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ドライ真空ポンプ
樫山製 カシヤマ製 SD40VⅡ
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スクロールポンプ
エドワーズ製 型式：ESDP12
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ダイアフラムポンプ
アルバック製 型式：DA-240S
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ダイアフラムポンプ
メーカー：アルバック
型式：DA-240S
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ターボ分子ポンプ
三菱重工製 型式：PT-150、ICFフランジ
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TMP
ターボ分子ポンプ
メーカー：三菱重工
型式：PT-150
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ロータリーポンプ
佐藤真空製 型式：DW-185Ⅱ
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ロータリーポンプ
メーカー：佐藤真空
型式：QW-185Ⅱ
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ターボ分子ポンプ
SEIKO SEIKI製 型式：STP-1000 ICFフランジ
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TMP
ターボ分子ポンプ
メーカー：SEIKO
型式：STP-1000
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メカニカルブースターポンプ
アルバック製 型式：PMB006CM
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TMP
ターボ分子ポンプ
メーカー：SEIKO
型式：STP-1000
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ターボ分子ポンプ
大阪真空製 型式：TH250CM ICF152
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TMP
ターボ分子ポンプ
メーカー：大阪真空
型式：ＴＨ250CM
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スクロールポンプ
アネスト岩田製 型式：ISP-500B 500L/min
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スクロールポンプ
メーカー：アネスト岩田
型式：ISP-500B
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ロータリーポンプ
TOKUDA製 型式：DRP-360YⅡ、2.7×10-2Pa
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油回転ポンプ
ロータリーポンプ
メーカー：徳田製
型式：DRP-360YⅡ
到達真空度：2.7×10-2
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クライオポンプ
アルバック製、型式：CRYO-U8H 型式：CRYO-U6H
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クライオポンプ
メーカー：アルバック
口径：6インチ、8インチ
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クライオポンプ
アネルバ製、CAP-120 080 CAP-131
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クライオポンプ
メーカー：アネルバ
口径：8インチ、10インチ
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クライオポンプ
ヘリックステクノロジー製、型式：CT-8
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クライオポンプ
メーカー：へリックス製
口径：8インチ
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ロータリーポンプ
アルカテル製 型式：2063
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ロータリーポンプ
メーカー：アルカテル
型式：2063
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イオンポンプ
アネルバ製 型式：PI
C-050A-IP
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ドライ真空ポンプ
エドワーズ製 型式：IL600
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ドライ真空ポンプ
樫山製 型式：RD90 型式：
RD300
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