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▼真空装置 |
★ イオンコーター（QUICK COATER） サンユー電子製 型式：SC-701 |
★ イオンコーター（カーボンコーター） JEOL製（日本電子製） 型式：JEC-530 |
★ イオンスパッタ 日立製 型式：E-1045 |
★ スパッタリング装置 ANELVA製 型式：SPF-332H |
★ プラズマクリーナー ヤマト科学製 型式：PDV-210 |
★ ICPエッチャー STS製 型式：MESC Multiplex ICP |
★ RF電源／マッチングボックス ENI製 型式：RFC-5 |
★ RFプラズマ電源／マッチングボックス AD-TEC製 型式：AX-3000Ⅲ |
★ プラズマアッシング装置 プラズマシステム製 型式：PE-615L |
★ ヘリウムリークディテクター 島津製 型式：MSE-3200 |
★ プラズマアッシャー モリエンジ製 型式：PB-600 |
★ RFスパッタリング装置 神鋼製 型式：SRV4220型 2元スパッタ |
★ 真空蒸着装置 ULVAC製 型式：EBX-12C |
★ イオンスパッタ（卓上スパッタ） 日立製 型式：E-1030 |
★ 製膜装置 サムコ製 型式：PD-200D ダイアモンドライクカーボン |
★ プラズマアッシャー プラズマシステム製 型式：DES-106-254E |
★ ドライエッチング装置 アネルバ製 型式：DEM-451M |
★ 蒸着機 アネルバ製 型式：EVC-1501 |
★ 電子銃（EB GUN） アネルバ製 型式：EGP-230(A12)、最大出力5kW |
★ 真空蒸着装置 ULVAC製 型式：EBX-12C |
★ スパッタ装置 ANELVA製 型式：SPF-530H |
★ RF電源 AD-TEC製（アドテック） 型式：AX-1000Ⅱ、AX-2000 |
★ RF電源 アルバック製 型式：PRF-065B |
★ DC電源（スパッタ電源） Advanced Energy製 型式MDXシリーズ Pinnacle |
★ ヘリウムリークディテクター ANELVA製 リークディテクター |
★ スパッタ電源 DC電源：MDXシリーズ、RF電源（高周波電源） |
★ スパッタ-エッチング装置／アッシング装置 各種メーカー 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ドライエッチング装置 真空蒸着機 イオンスパッタ マグネトロンスパッタ |
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▼真空部品、真空コンポーネント |
★ マッチングコントローラー ASTECH製 型式：RC-11 |
★ マスフローコントローラー制御ユニット STECH製 型式：PAC-S5 |
★ 高周波電源（RF電源） ADTECH製 型式：AX-500 500W |
★ 膜厚コントローラー INFICON製（インフィコン） 型式：XTC |
★ 電子銃（Electron-gun） 5kV-2ch |
★ マッチングコントローラー ULVAC製 型式：AMC 6D |
★ RF電源／マッチングボックス ENI製 型式：RFC-5 |
★ RFプラズマ電源／マッチングボックス AD-TEC製 型式：AX-3000Ⅲ |
★ マスフローコントローラー AERA製／S-TEC製 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ RFジェネレーター ENI製 型式：ACG-6B 出力：600W 13.56MHZ |
★ RFプラズマ電源 アネルバ製 型式：PRF-125C |
★ DCプラズマ電源 ENI製 型式：DCG-100 |
★ RF電源 ENI製 型式：OEM-10B 出力：1250W |
★ 質量ガス分析器 ＩＮＦＩＣＯＮ製 Transpector TSPシリーズ |
★ ピラニー真空ゲージ PIC製 Ｔｏｒｒ表示 2SETPOINT |
★ アングルバルブ、ゲートバルブ VAT製 フランジ径6インチ、8インチ 他．．． |
★ Q-MASS （質量分析器） ANELVA製 |
★ クライオコンプレッサー へリックステクノロジー製 型式：8510 型式：9600 |
★ クライオコンプレッサー（ヘリウムコンプレッサー） 各種 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ 真空配管部品 ICF規格、ISO規格、JIS規格 チーズ、エルボ、フレキ、真空チャンバー |
★ DC電源（スパッタ電源） Advanced Energy製 型式MDXシリーズ Pinnacle |
★ ヘリウムリークディテクター ANELVA製 リークディテクター |
★ 電離真空計（イオンゲージ）、サーモカップル真空計 情報はお問い合わせ下さい。 |
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▼真空ポンプ |
★ スクロールポンプ アネストイワタ製 型式：ISP-500B |
★ イオンポンプ アネルバ製 型式：912-7120 コントローラー：PIC-050NP |
★ ドライポンプ 樫山製 型式：MU100 1000L/m |
★ ドライポンプ アルバック製 型式：PDR-180CN 188/237m3/h |
★ ロータリーポンプ アルカテル製 型式：2063SD オーバーホール品 |
★ ロータリーポンプ アルバック製 型式：EC603 1000/1200L/m |
★ ロータリーポンプ アルバック製 型式：VD301 500/600L/m |
★ ロータリーポンプ アルバック製 型式：D-650DK |
★ メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式：PRC-012A |
★ メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式：PMB012CM |
★ クライオコンプレッサー へリックス（HELIX）製 型式：9600 |
★ クライオコンプレッサー 鈴木商館製 型式：C300 |
★ クライオコンプレッサー アネルバ製 型式：CRC-870MKⅡ |
★ クライオコンプレッサー アネルバ製 型式：CRC-420MKⅡ |
★ クライオコンプレッサー アルバック製 型式：C30ZR |
★ ターボ分子ポンプ EBARA製（荏原） 型式：ET300-UZ ISO203 |
★ ターボ分子ポンプ用コントローラー PFEIFFER/BALZERS製 型式：TCP121 or DCU100 |
★ ダイアフラム型真空ポンプ アルバック製 型式：DA-15S 排気速度12/15 L/min |
★ ポータブルアスピレーター アルバック製 型式：MDA-015 ダイアフラム内蔵 |
★ ターボ分子ポンプ PFEIFFER/BALZERS製 型式：TPU062 |
★ ターボ分子ポンプ（TMP） PFEIFFER製 型式：TPH240 or TMH260H |
★ ターボ分子ポンプ（TMP） 大阪真空製 型式：TH250MC、ICF152、空冷 |
★ ターボ分子ポンプ 大阪真空製 型式：TG203 |
★ ターボ分子ポンプ（TMP） SEIKO精機製 型式：STP-300H ISO100 |
★ ターボ分子ポンプ アルバック製 排気速度：740L/s フランジ：ICF203 |
★ ターボ分子ポンプ アルバック製 排気速度：3300L/s フランジ：VG350 |
★ ターボ分子ポンプ アルバック製 排気速度：1300L/s フランジ：ICF253 |
★ ターボ分子ポンプ 島津製 排気速度：200L/s、280L/s、800L/s、1000L/s 磁気軸受型 |
★ ターボ分子ポンプ ライボルト製 型式：Turbovac1500 |
★ ターボ分子ポンプ 三菱重工製 480L/s、700L/s、2300L/s、3000L/s 吸気口JISフランジ |
★ ターボ分子ポンプ フランジ：JIS規格、ISO規格、ICF規格 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ロータリーポンプ エドワーズ製 型式：RV12 |
★ ロータリーポンプ エドワーズ製 型式：E2M2 |
★ ロータリーポンプ アルカテル製 型式：2063 |
★ ロータリーポンプ エドワーズ製 アネルバ製 アルカテル製 各種メーカー 他．．． |
★ ロータリーポンプ ULVAC製 型式：VS2401 型式：D-240K |
★ ロータリーポンプ エドワーズ製 型式：E2M18 |
★ メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式：PMB012CM |
★ メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式：PMB006CM |
★ クライオポンプ アネルバ製、CAP-120 080 CAP-131 他．．． |
★ クライオポンプ ヘリックステクノロジー製、型式：CT-8 |
★ イオンポンプ アネルバ製 型式：PI C-050A-IP |
★ クライオコンプレッサー へリックステクノロジー製 型式：8510 型式：9600 |
★ クライオコンプレッサー（ヘリウムコンプレッサー） 各種 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ドライポンプ 荏原製 型式：A07V |
★ ドライポンプ 荏原製 型式：ESR20N |
★ ドライポンプ アネルバ製 型式：V060HB |
★ ドライ真空ポンプ 樫山製 型式：SD40VⅡ |
★ ドライ真空ポンプ エドワーズ製 型式：GX-100L |
★ ドライ真空ポンプ 樫山製 型式：SDL25K-DM017A |
★ ドライ真空ポンプ 樫山製 型式：HC06B 1000L/min |
★ ターボ分子ポンプ 大阪真空製（OSAKA）、PFEIFFER製、LEYBOLD製、Edwards製 |
★ スクロールポンプ エドワーズ製 型式：ESDP12 |
★ スクロールポンプ エドワーズ製 型式：XDS10 |
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▼半導体製造装置 |
★ ディスペンサーロボット 武蔵エンジニアリング製 型式：SHOT mini SL |
★ ウェハー拡張装置（エキスパンダー） テクノビジョン製 型式：TEX-21B |
★ マスクアライナー ミカサ製 型式：MA-60F |
★ プラズマクリーナー ヤマト科学製 型式：PDV-210 |
★ チップ/テープ分離装置 ヒューグルエレクトロニクス製 型式：model4800 |
★ ウェハーマウンター（貼り付け機） 日東電工製 型式：M-265N |
★ 紫外線照射装置 浜松ホトニクス製 型式：L7212-01 |
★ セミオートプロ―バー MJC製 型式：SP-80 |
★ スピンコーター ミカサ製 型式：1H-360 |
★ ウェハーチェッカー マイクロニクス製 |
★ エリプソメーター ガードナー製／他・・・ 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ワイヤーボンダー、ダイボンダー 新川製／カイジョー製 |
★ バックグラインダー DISCO製 型式：DFG840HG |
★ マニュアルプローバー 日本マイクロ製 型式：705B-HF |
★ マスクアライナー CANON製 型式：PLA |
★ UVスポットキュア ウシオ製 型式：SP-7 |
★ スプレーコーター テックインテック製 型式PS-C610L |
★ マスクアライナー（マスクアライメント装置） ミカサ製 MA-10型 |
★ スピンコーター ミカサ製 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ 露光装置 CANON製/USHIO製 4～6インチ、8インチ 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ウェハー表面ゴミ検査機（パーティクル測定機） TOPCON製 6インチ |
★ 非接触膜厚測定機 NANOSPEC/AFT 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ラムダエース ウェハー分析機 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ プラズマクリーナー 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ スピンドライヤー 5インチ、6インチ各種 2カセット、4カセット各種 |
★ フルオートプロ―バー TEL製(東京エレクトロン） リンサードライヤー VARIUS製 |
★ ウェハー搬送ユニット、抵抗率測定装置、大気圧プラズマ装置、表面形状測定装置 |
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▼洗浄装置・洗浄機 |
★ 紫外線オゾン洗浄装置（UV照射） コスモ技研製 型式：CUVD50U-05 |
★ 超音波発信機 カイジョー製 型式：200-28F TYPE：4341i 出力：200W 28kHz |
★ 超音波洗浄機 クレスト製 ULTORA SONICS 型式4G-500-6-TSAW |
★ 超音波洗浄装置 2層式～5層式 各種 |
★ 3層式洗浄機 バートル製 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ウォータージェット洗浄機、プラズマ洗浄装置（プラズマクリーナー） |
★ ドラフトチャンバー 有機ドラフト、酸処理 各種 寸法：幅1500mm～2200mm |
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▼ユーティリティー・工場設備 |
★ 窒素ガス発生装置 小島製作所製 型式：2NT-1.5 |
★ 恒温水循環装置（空冷チラー） EYELA製 型式：NCB-2200 |
★ 冷却水循環装置（空冷チラー） EYELA製 型式：CA-1114B |
★ 空冷チラー ヤマト科学製 型式：CLH300 |
★ チラー（空冷） EYELA製（東京理化器械製） 型式：CA-1112 |
★ チラー ORION製／オリオン製 型式：RKS1500、RKS400、RKEシリーズ（水冷タイプ大型43kW） |
★ コンプレッサー（レシプロ） 日立製 型式：PO-0.75LS 1馬力 |
★ 金型温調機 クボタカラトロ製 型式：STP-330-130 |
★ チラー（クーリングポンプ） タイテック製 型式：CH-400 |
★ 業務用冷蔵庫 ホシザキ製 型式：HR-180X形 （内容量1651L） |
★ スクリューコンプレッサー HITACHI製 15kW～37kW 各種 |
★ エアータンク（レシーバータンク） 、クーリングタワー |
★ エアードライヤー ORION製 型式RAX-37SE-B |
★ 窒素精製装置、窒素発生装置（N2精製装置） 情報はお問い合わせ下さい。 |
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▼理化学機器 |
★ グローブボックス 真空チャンバー付き |
★ デジタルマイクロスコープ HIROX製 型式：KH-3000 |
★ FIB（走査型イオン顕微鏡） SII製 型式：SMI3200 |
★ FIB（集束イオンビーム装置） SII製 型式：SMI9800 |
★ レーザー顕微鏡 キーエンス製（KEYENCE） 型式：VK-8510 |
★ 防振台（卓上防振台） 明立精機製 型式：AVT-0405NC |
★ ドラフトチャンバー（有機ドラフト） オリエンタル技研製 W2300 |
★ ドラフトチャンバー（酸アルカリドラフト） オリエンタル技研製 W1800 |
★ 遠心機（遠心分離機） コクサン製 型式：H-27F |
★ 光学ステージ XYZステージ 各種 |
★ 金属顕微鏡 オリンパス製／ニコン製 対物レンズ倍率：x5～x100 |
★ 実体顕微鏡 オリンパス製／ニコン製 双眼顕微鏡 倍率：ズーム倍率 |
★ 電子顕微鏡（SEM） 走査電子顕微鏡 JEOL製／キーエンス製 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ 凍結乾燥装置 真空凍結乾燥機 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ デジタルマイクロスコープ キーエンス製 型式：VH-5000 ＆ 型式：VH-8000 |
★ 微小硬度計 6インチウェハー用 ドラフトチャンバー 寸法：幅1500mm～2200mm |
★ 精密定盤、光学定盤、防振台、除振台 寸法：幅750mm～2000mm |
★ 走査型トンネル顕微鏡 STM 、走査型プローブ顕微鏡 SPM 、原子間力顕微鏡 AFM |
★ クロマトグラフィーシステム、液クロ、ガスクロ、デシケーター 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ フーリエ変換赤外分光光度計 FTIR 、蛍光エックス線分析装置、真円度測定装置 |
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▼検査機・分析装置 |
★ 色彩輝度計 トプコン製 型式：BM5A 型式：BM7R |
★ 色彩輝度計 コニカミノルタ製 型式：CS-100A、CS-100 |
★ SPM（走査型プローブ顕微鏡） JEOL製（日本電子） 型式：JSPM-5200 |
★ 液クロ用ポンプ 島津製（SHIMADZU） 型式：SCL、SPD、LC |
★ FT-IR（フーリエ変換赤外分光光度計） ATI Mattson製 型式：Genesis |
★ FTIR（フーリエ変換赤外分光光度計） Thermo Electron製 IR100/IR200シリーズ |
★ ガスクロマトグラフ 日立製 型式：G-5000 |
★ ガスクロマトグラフ サーモサイエンティフィック製 型式：TRACE gc |
★ パーティクルカウンター RION製（リオン製） 0.3μm、0.5μm、10μm・・・ |
★ デジタルマイクロスコープ HIROX製 型式：KH-3000 |
★ FIB（走査型イオン顕微鏡） SII製 型式：SMI3200 |
★ FIB（集束イオンビーム装置） SII製 型式：SMI9800 |
★ デジタルマイクロスコープ キーエンス製 型式：VH-5000 |
★ レーザー変位計 キーエンス製 型式：LE-4000 |
★ 表面分析装置 理研計器製 型式：AC-1 仕事関数測定／膜厚係数率測定 |
★ 硬度計 アカシ製 型式：MVK-1C ヌーブ硬度orビッカース硬度 |
★ Q-MASS （質量分析器） ANELVA製 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ウェハー表面ゴミ検査機（パーティクル測定機） TOPCON製 WMシリーズ 6インチ |
★ 非接触膜厚測定機 NANOSPEC/AFT 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ラムダエース ウェハー分析機 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ 金属顕微鏡（外観検査装置） オリンパス製／ニコン製 対物レンズ倍率：x5～x100 |
★ 走査型電子顕微鏡（SEM） 走査電子顕微鏡 JEOL製／キーエンス製 |
★ デジタルマイクロスコープ キーエンス製 型式：VH-5000 ＆ 型式：VH-8000 |
★ ドラフトチャンバー 寸法：幅1500mm～2200mm 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ STM、AFM、SPM、防振台、精密定盤、紫外線輝度計測装置（輝度・照度） |
★ フーリエ変換赤外分光光度計 FTIR、蛍光X線分析装置、クロマトグラフシステム |
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▼環境機器・恒温槽・オーブン |
★ 高温管状炉（アニール炉） 光洋サーモシステム製 型式KTF773N-S 1100℃ |
★ 恒温槽・オーブン ESPEC製／ヤマト科学製 各種 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ 電気炉 （マッフル炉） KDS製 型式S-90 設定温度～1100℃ |
★ プレッシャークッカー（加速寿命試験装置） エスペック製 型式：EHS-411MD |
★ 真空オーブン ヤマト科学製 型式：DP-31-T、温度：20～240℃、寸法W300×D300×H300mm |
★ 凍結乾燥装置 真空凍結乾燥機 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ 高温雰囲気炉、結露サイクル試験機、熱衝撃試験機（サーマルショック試験機） |
★ 恒温恒湿槽、インキュベーター エスペック製／ヤマト科学製 情報はお問い合わせ下さい。 |
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▼電気計測器・電気部品、コンポーネント |
★ DC電源 菊水製 型式：PVS40-30 0～40V 30A |
★ ポータブルアナライザー Anatel A-100P Anatel Portable Analyzer |
★ 直流電源 菊水製 型式：PCR1000 ＆ 型式：PCR2000 |
★ 高電圧電源 松定製 HARシリーズ、HERシリーズ 出力：10kV、15kV、20kV |
★ 高性能直流電源 松定プレシジョン製 型式：PQシリーズ ～250V、～350V |
★ 直流安定化電源 菊水製 ～250V 他・・・ |
★ 直流安定化電源 松定プレシジョン製 ～250V 他・・・ |
★ シグナルジェナレーター HP製 型式：8657A、周波数帯域：0.1-1040MHz |
★ スペクトラムアナライザー アドバンテスト製 型式：TR4171 |
★ オシロスコープ テクトロニクス製 周波数：50Hz、500S/s、200MHz、500MHz、2GHz、2.5GHz |
★ デジタルオシロスコープ ＨＰ製／テクトロ製／岩通製／横河製 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ネットワークアナライザー、光パワーメーター、メガオームテスター、電流プローブ |
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▼クリーン機器・クリーンルーム設備 |
★ クリーンベンチ 日立製 PCV 寸法：W1600 D770 H1860 |
★ クリーンデシケーター 各種 |
★ クリーンベンチ 作業範囲：幅1000mm～1800mm |
★ クリーン保管庫、エアーシャワー 情報はお問い合わせ下さい。 |
★ ヘパフィルター（クリーンフィルター） 日本エアーテック製 SS-MACシリーズ |
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