== 在 庫 状 況 ==
 

在庫状況が頻繁に変動する為、当ホームページに記載の無い物についても、
在庫・取扱いが多数あります。お気軽にお問い合わせ下さい。

中古ではご希望の仕様に見合うものは見つけにくいものです。
豊富な情報でお客様に見合う仕様の機械・装置をお探します。


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▼真空装置

イオンコーター(QUICK COATER) サンユー電子製  型式:SC-701

イオンコーター(カーボンコーター) JEOL製(日本電子製)   型式:JEC-530

イオンスパッタ 日立製   型式:E-1045

スパッタリング装置 ANELVA製   型式:SPF-332H

プラズマクリーナー ヤマト科学製   型式:PDV-210

ICPエッチャー STS製   型式:MESC Multiplex ICP

RF電源/マッチングボックス ENI製   型式:RFC-5

RFプラズマ電源/マッチングボックス AD-TEC製   型式:AX-3000V

プラズマアッシング装置 プラズマシステム製   型式:PE-615L

ヘリウムリークディテクター  島津製  型式:MSE-3200

プラズマアッシャー  モリエンジ製  型式:PB-600

RFスパッタリング装置  神鋼製  型式:SRV4220型 2元スパッタ

真空蒸着装置 ULVAC製  型式:EBX-12C

イオンスパッタ(卓上スパッタ)  日立製  型式:E-1030

製膜装置  サムコ製  型式:PD-200D ダイアモンドライクカーボン

プラズマアッシャー プラズマシステム製  型式:DES-106-254E

ドライエッチング装置 アネルバ製  型式:DEM-451M

蒸着機 アネルバ製  型式:EVC-1501

電子銃(EB GUN)  アネルバ製  型式:EGP-230(A12)、最大出力5kW

真空蒸着装置 ULVAC製  型式:EBX-12C

スパッタ装置 ANELVA製  型式:SPF-530H

RF電源 AD-TEC製(アドテック)  型式:AX-1000U、AX-2000

RF電源   アルバック製  型式:PRF-065B

DC電源(スパッタ電源)   Advanced Energy製 型式MDXシリーズ Pinnacle

ヘリウムリークディテクター   ANELVA製 リークディテクター

スパッタ電源   DC電源:MDXシリーズ、RF電源(高周波電源)

スパッタ-エッチング装置/アッシング装置   各種メーカー 情報はお問い合わせ下さい。

ドライエッチング装置 真空蒸着機 イオンスパッタ マグネトロンスパッタ



真空部品、真空コンポーネント

マッチングコントローラー  ASTECH製   型式:RC-11

マスフローコントローラー制御ユニット  STECH製   型式:PAC-S5

高周波電源(RF電源)  ADTECH製   型式:AX-500 500W

膜厚コントローラー  INFICON製(インフィコン)   型式:XTC

電子銃(Electron-gun)  5kV-2ch

マッチングコントローラー  ULVAC製   型式:AMC 6D

RF電源/マッチングボックス ENI製   型式:RFC-5

RFプラズマ電源/マッチングボックス AD-TEC製   型式:AX-3000V

マスフローコントローラー AERA製/S-TEC製    情報はお問い合わせ下さい。

RFジェネレーター  ENI製  型式:ACG-6B   出力:600W 13.56MHZ

RFプラズマ電源 アネルバ製  型式:PRF-125C

DCプラズマ電源 ENI製 型式:DCG-100

RF電源 ENI製 型式:OEM-10B  出力:1250W  

質量ガス分析器 INFICON製 Transpector TSPシリーズ

ピラニー真空ゲージ PIC製 Torr表示 2SETPOINT

アングルバルブ、ゲートバルブ   VAT製 フランジ径6インチ、8インチ 他...

Q-MASS (質量分析器)   ANELVA製

クライオコンプレッサー へリックステクノロジー製  型式:8510  型式:9600

クライオコンプレッサー(ヘリウムコンプレッサー) 各種  情報はお問い合わせ下さい。

真空配管部品   ICF規格、ISO規格、JIS規格 チーズ、エルボ、フレキ、真空チャンバー

DC電源(スパッタ電源)   Advanced Energy製 型式MDXシリーズ Pinnacle

ヘリウムリークディテクター   ANELVA製 リークディテクター

電離真空計(イオンゲージ)サーモカップル真空計   情報はお問い合わせ下さい。



真空ポンプ

スクロールポンプ アネストイワタ製   型式:ISP-500B

イオンポンプ アネルバ製   型式:912-7120 コントローラー:PIC-050NP

ドライポンプ 樫山製   型式:MU100  1000L/m

ドライポンプ アルバック製   型式:PDR-180CN  188/237m3/h

ロータリーポンプ アルカテル製   型式:2063SD オーバーホール品

ロータリーポンプ アルバック製   型式:EC603  1000/1200L/m

ロータリーポンプ アルバック製   型式:VD301  500/600L/m

ロータリーポンプ アルバック製   型式:D-650DK

メカニカルブースターポンプ アルバック製   型式:PRC-012A

メカニカルブースターポンプ アルバック製   型式:PMB012CM

クライオコンプレッサー へリックス(HELIX)製   型式:9600

クライオコンプレッサー 鈴木商館製   型式:C300

クライオコンプレッサー アネルバ製   型式:CRC-870MKU

クライオコンプレッサー アネルバ製   型式:CRC-420MKU

クライオコンプレッサー アルバック製   型式:C30ZR

ターボ分子ポンプ EBARA製(荏原)   型式:ET300-UZ  ISO203

ターボ分子ポンプ用コントローラー PFEIFFER/BALZERS製   型式:TCP121 or DCU100

ダイアフラム型真空ポンプ アルバック製   型式:DA-15S 排気速度12/15 L/min

ポータブルアスピレーター アルバック製    型式:MDA-015 ダイアフラム内蔵

ターボ分子ポンプ PFEIFFER/BALZERS製   型式:TPU062

ターボ分子ポンプ(TMP) PFEIFFER製   型式:TPH240 or TMH260H

ターボ分子ポンプ(TMP) 大阪真空製   型式:TH250MC、ICF152、空冷

ターボ分子ポンプ 大阪真空製   型式:TG203

ターボ分子ポンプ(TMP) SEIKO精機製   型式:STP-300H  ISO100

ターボ分子ポンプ アルバック製   排気速度:740L/s  フランジ:ICF203

ターボ分子ポンプ アルバック製   排気速度:3300L/s  フランジ:VG350

ターボ分子ポンプ アルバック製   排気速度:1300L/s  フランジ:ICF253

ターボ分子ポンプ 島津製   排気速度:200L/s、280L/s、800L/s、1000L/s  磁気軸受型

ターボ分子ポンプ ライボルト製   型式:Turbovac1500

ターボ分子ポンプ 三菱重工製  480L/s、700L/s、2300L/s、3000L/s  吸気口JISフランジ

ターボ分子ポンプ フランジ:JIS規格、ISO規格、ICF規格   情報はお問い合わせ下さい。

ロータリーポンプ エドワーズ製 型式:RV12

ロータリーポンプ エドワーズ製 型式:E2M2

ロータリーポンプ アルカテル製 型式:2063

ロータリーポンプ   エドワーズ製 アネルバ製 アルカテル製 各種メーカー 他...

ロータリーポンプ ULVAC製 型式:VS2401   型式:D-240K

ロータリーポンプ エドワーズ製 型式:E2M18

メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式:PMB012CM

メカニカルブースターポンプ アルバック製 型式:PMB006CM

クライオポンプ アネルバ製、CAP-120 080 CAP-131 他...

クライオポンプ ヘリックステクノロジー製、型式:CT-8

イオンポンプ アネルバ製 型式:PI C-050A-IP

クライオコンプレッサー へリックステクノロジー製  型式:8510  型式:9600

クライオコンプレッサー(ヘリウムコンプレッサー) 各種  情報はお問い合わせ下さい。

ドライポンプ 荏原製  型式:A07V

ドライポンプ 荏原製  型式:ESR20N

ドライポンプ アネルバ製  型式:V060HB

ドライ真空ポンプ 樫山製  型式:SD40VU

ドライ真空ポンプ エドワーズ製  型式:GX-100L

ドライ真空ポンプ 樫山製  型式:SDL25K-DM017A

ドライ真空ポンプ 樫山製  型式:HC06B 1000L/min

ターボ分子ポンプ 大阪真空製(OSAKA)、PFEIFFER製、LEYBOLD製、Edwards製

スクロールポンプ エドワーズ製  型式:ESDP12

スクロールポンプ エドワーズ製  型式:XDS10



半導体製造装置

ディスペンサーロボット 武蔵エンジニアリング製  型式:SHOT mini SL

ウェハー拡張装置(エキスパンダー) テクノビジョン製  型式:TEX-21B

マスクアライナー ミカサ製  型式:MA-60F

プラズマクリーナー ヤマト科学製  型式:PDV-210

チップ/テープ分離装置 ヒューグルエレクトロニクス製  型式:model4800

ウェハーマウンター(貼り付け機) 日東電工製  型式:M-265N

紫外線照射装置 浜松ホトニクス製  型式:L7212-01

セミオートプロ―バー MJC製 型式:SP-80

スピンコーター ミカサ製 型式:1H-360

ウェハーチェッカー マイクロニクス製

エリプソメーター ガードナー製/他・・・   情報はお問い合わせ下さい。

ワイヤーボンダーダイボンダー 新川製/カイジョー製

バックグラインダー DISCO製 型式:DFG840HG

マニュアルプローバー 日本マイクロ製 型式:705B-HF

マスクアライナー CANON製 型式:PLA

UVスポットキュア ウシオ製 型式:SP-7

スプレーコーター テックインテック製 型式PS-C610L

マスクアライナー(マスクアライメント装置) ミカサ製  MA-10型

スピンコーター ミカサ製    情報はお問い合わせ下さい。

露光装置 CANON製/USHIO製  4〜6インチ、8インチ  情報はお問い合わせ下さい。

ウェハー表面ゴミ検査機(パーティクル測定機) TOPCON製  6インチ

非接触膜厚測定機 NANOSPEC/AFT    情報はお問い合わせ下さい。

ラムダエース ウェハー分析機    情報はお問い合わせ下さい。

プラズマクリーナー     情報はお問い合わせ下さい。

スピンドライヤー   5インチ、6インチ各種  2カセット、4カセット各種

フルオートプロ―バー TEL製(東京エレクトロン) リンサードライヤー VARIUS製

ウェハー搬送ユニット抵抗率測定装置大気圧プラズマ装置表面形状測定装置



洗浄装置・洗浄機

紫外線オゾン洗浄装置(UV照射) コスモ技研製    型式:CUVD50U-05

超音波発信機 カイジョー製    型式:200-28F TYPE:4341i  出力:200W 28kHz

超音波洗浄機 クレスト製 ULTORA SONICS 型式4G-500-6-TSAW

超音波洗浄装置 2層式〜5層式 各種

3層式洗浄機 バートル製     情報はお問い合わせ下さい。

ウォータージェット洗浄機プラズマ洗浄装置(プラズマクリーナー)

ドラフトチャンバー 有機ドラフト、酸処理 各種  寸法:幅1500mm〜2200mm



ユーティリティー・工場設備

窒素ガス発生装置 小島製作所製    型式:2NT-1.5

恒温水循環装置(空冷チラー) EYELA製 型式:NCB-2200

冷却水循環装置(空冷チラー) EYELA製 型式:CA-1114B

空冷チラー ヤマト科学製    型式:CLH300

チラー(空冷) EYELA製(東京理化器械製)    型式:CA-1112

チラー ORION製/オリオン製 型式:RKS1500、RKS400、RKEシリーズ(水冷タイプ大型43kW)

コンプレッサー(レシプロ) 日立製 型式:PO-0.75LS  1馬力

金型温調機 クボタカラトロ製 型式:STP-330-130

チラー(クーリングポンプ) タイテック製 型式:CH-400

業務用冷蔵庫 ホシザキ製 型式:HR-180X形  (内容量1651L)

スクリューコンプレッサー HITACHI製 15kW〜37kW 各種

エアータンク(レシーバータンク) 、クーリングタワー

エアードライヤー ORION製 型式RAX-37SE-B

窒素精製装置窒素発生装置(N2精製装置)   情報はお問い合わせ下さい。



理化学機器

グローブボックス 真空チャンバー付き

デジタルマイクロスコープ HIROX製   型式:KH-3000

FIB(走査型イオン顕微鏡)  SII製   型式:SMI3200

FIB(集束イオンビーム装置)  SII製   型式:SMI9800

レーザー顕微鏡 キーエンス製(KEYENCE)   型式:VK-8510

防振台(卓上防振台)  明立精機製  型式:AVT-0405NC

ドラフトチャンバー(有機ドラフト) オリエンタル技研製   W2300

ドラフトチャンバー(酸アルカリドラフト) オリエンタル技研製   W1800

遠心機(遠心分離機) コクサン製   型式:H-27F

光学ステージ XYZステージ 各種 

金属顕微鏡  オリンパス製/ニコン製  対物レンズ倍率:x5〜x100

実体顕微鏡 オリンパス製/ニコン製   双眼顕微鏡  倍率:ズーム倍率

電子顕微鏡(SEM) 走査電子顕微鏡 JEOL製/キーエンス製  情報はお問い合わせ下さい。

凍結乾燥装置  真空凍結乾燥機   情報はお問い合わせ下さい。

デジタルマイクロスコープ キーエンス製   型式:VH-5000 & 型式:VH-8000

微小硬度計  6インチウェハー用   ドラフトチャンバー   寸法:幅1500mm〜2200mm

精密定盤光学定盤防振台除振台   寸法:幅750mm〜2000mm

走査型トンネル顕微鏡 STM 走査型プローブ顕微鏡 SPM 原子間力顕微鏡 AFM

クロマトグラフィーシステム液クロガスクロデシケーター    情報はお問い合わせ下さい。

フーリエ変換赤外分光光度計 FTIR 蛍光エックス線分析装置真円度測定装置



検査機・分析装置

色彩輝度計 トプコン製  型式:BM5A 型式:BM7R

色彩輝度計 コニカミノルタ製  型式:CS-100A、CS-100

SPM(走査型プローブ顕微鏡) JEOL製(日本電子)  型式:JSPM-5200

液クロ用ポンプ 島津製(SHIMADZU)  型式:SCL、SPD、LC

FT-IR(フーリエ変換赤外分光光度計) ATI Mattson製  型式:Genesis

FTIR(フーリエ変換赤外分光光度計) Thermo Electron製  IR100/IR200シリーズ

ガスクロマトグラフ 日立製  型式:G-5000

ガスクロマトグラフ サーモサイエンティフィック製  型式:TRACE gc

パーティクルカウンター RION製(リオン製)  0.3μm、0.5μm、10μm・・・

デジタルマイクロスコープ HIROX製   型式:KH-3000

FIB(走査型イオン顕微鏡)  SII製   型式:SMI3200

FIB(集束イオンビーム装置)  SII製   型式:SMI9800

デジタルマイクロスコープ キーエンス製  型式:VH-5000

レーザー変位計 キーエンス製  型式:LE-4000

表面分析装置  理研計器製  型式:AC-1 仕事関数測定/膜厚係数率測定

硬度計  アカシ製  型式:MVK-1C  ヌーブ硬度orビッカース硬度

Q-MASS (質量分析器)   ANELVA製    情報はお問い合わせ下さい。

ウェハー表面ゴミ検査機(パーティクル測定機) TOPCON製  WMシリーズ  6インチ

非接触膜厚測定機 NANOSPEC/AFT    情報はお問い合わせ下さい。

ラムダエース ウェハー分析機    情報はお問い合わせ下さい。

金属顕微鏡(外観検査装置)  オリンパス製/ニコン製  対物レンズ倍率:x5〜x100

走査型電子顕微鏡(SEM) 走査電子顕微鏡 JEOL製/キーエンス製 

デジタルマイクロスコープ キーエンス製   型式:VH-5000 & 型式:VH-8000

ドラフトチャンバー   寸法:幅1500mm〜2200mm    情報はお問い合わせ下さい。

STMAFMSPM防振台精密定盤紫外線輝度計測装置(輝度・照度)

フーリエ変換赤外分光光度計 FTIR蛍光X線分析装置クロマトグラフシステム



環境機器・恒温槽・オーブン

高温管状炉(アニール炉)  光洋サーモシステム製 型式KTF773N-S 1100℃

恒温槽・オーブン  ESPEC製/ヤマト科学製 各種   情報はお問い合わせ下さい。

電気炉 (マッフル炉) KDS製 型式S-90 設定温度〜1100℃

プレッシャークッカー(加速寿命試験装置) エスペック製   型式:EHS-411MD

真空オーブン ヤマト科学製 型式:DP-31-T、温度:20〜240℃、寸法W300×D300×H300mm

凍結乾燥装置  真空凍結乾燥機   情報はお問い合わせ下さい。

高温雰囲気炉結露サイクル試験機熱衝撃試験機(サーマルショック試験機)

恒温恒湿槽インキュベーター エスペック製/ヤマト科学製  情報はお問い合わせ下さい。



電気計測器・電気部品、コンポーネント

DC電源 菊水製  型式:PVS40-30  0〜40V 30A

ポータブルアナライザー Anatel A-100P  Anatel Portable Analyzer

直流電源 菊水製    型式:PCR1000 & 型式:PCR2000

高電圧電源 松定製 HARシリーズ、HERシリーズ 出力:10kV、15kV、20kV

高性能直流電源 松定プレシジョン製 型式:PQシリーズ 〜250V、〜350V

直流安定化電源 菊水製 〜250V  他・・・

直流安定化電源 松定プレシジョン製 〜250V  他・・・

シグナルジェナレーター HP製 型式:8657A、周波数帯域:0.1-1040MHz

スペクトラムアナライザー アドバンテスト製 型式:TR4171

オシロスコープ テクトロニクス製 周波数:50Hz、500S/s、200MHz、500MHz、2GHz、2.5GHz

デジタルオシロスコープ HP製/テクトロ製/岩通製/横河製  情報はお問い合わせ下さい。

ネットワークアナライザー光パワーメーターメガオームテスター電流プローブ



クリーン機器・クリーンルーム設備

クリーンベンチ  日立製  PCV  寸法:W1600 D770 H1860

クリーンデシケーター  各種

クリーンベンチ  作業範囲:幅1000mm〜1800mm

クリーン保管庫エアーシャワー   情報はお問い合わせ下さい。

ヘパフィルター(クリーンフィルター) 日本エアーテック製 SS-MACシリーズ