★ ピラニー真空計 　アルバック製　型式：IS02

★ 膜厚計 　アルバック製　型式：CRTM-7000

★ ゲートバルブ 　VAT製　型式：01034-KE01-0002/0730

★ 電離真空計 　アルバック製　型式：GI-TL3

★ 高周波発信機 　森エンジニアリング製　型式：SFA300EX

★ マイクロ波電源（スパッタ電源） 　AD-TECH製（アドテック）　型式：ARP series

★ マイクロ波電源（スパッタ電源） 　IDX製（AD-TECH）　型式：IMG-2503S

★ 真空バルブ（ゲートバブルICF114） 　アルバック製　型式：VUGP40

★ 真空バルブ（ゲートバブルICF114） 　HVA製　型式：ICF114

★ 真空コントローラー／ゲージ 　MKS製　型式：651CD2SS1NJ

★ RF電源（プラズマ電源） 　アステック製　型式：ARF1053

★ EB電源（電子ビーム電源） 　 日新技研製　型式：NEB-10W型

★ ゲートバルブ（ICF86） 　VAT製　型式：01032-CE44ABM2/0030

★ マッチングボックス 　JEOL製／型式：EHMN01A

★ compact Full Range Gauge 　バリアン製／型式：PKR251

★ プロセスモニター／コントロール 　アルバック製／型式：STANDAM

★ アングルバルブ　（NW25） 　バリアン製／型式：L6-281-302

★ 真空バルブコントローラー 　インフィコン製／型式：VCC-500

★ 真空ゲージコントローラー 　インフィコン製／型式：VGC-023

★ ゲートバルブ　VAT製／型式：ICF253

★★ 真空バルブ（ゲートバルブ／ICF114）　　VAT製／型式：F14-58802-01

★★ 真空バルブ（ゲートバルブ／ICF114）　　HVA製／型式：ICF86

★★ 真空バルブ（アングルバルブ／NW25）　　VAT製／型式：26382-KA01-0002/0037

★★ 真空バルブ（アングルバルブ）　　アルバック製／型式：VULH40

★★ マイクロ波電源（スパッタ電源）　　IDX製／型式：2502+

★★ イオン銃電源（EB電源）　　PIC製／型式：KIP50HC-10

★★ 膜厚コントローラー　　インフィコン製／型式：XTC/2

★★ 電離真空計コントローラー（イオンゲージ）　　アネルバ製／型式：M-822HG

★ ピラニー真空計 　アルバック製／型式：GP-2A

★ ゲートバルブ　（ICF152） 　FUJI SEIKI製／型式：BV-4AXO-HF

★ クライオコンプレッサー 　鈴木商館製　型式：C300K

★ 真空ゲージコントローラー　　ライボルト製／型式：COMBIVAC　CM31

★ 真空バルブコントローラー　　ライボルト製／型式：MEMBRANOVAC　DM11

★ アングルバルブ　（ICF114）　　VAT製／型式：

★ 高真空用電磁弁　　CKD製／型式：HVB112-X0309

★ 直動式電磁弁　　CKD製／型式：USG2-M5-2

★ 真空チャンバー　　アネルバ製／−−−−−

★ クライオコンプレッサー　　鈴木商館製／型式：CCT-CK11003GA

★ ピラニー真空ゲージ　　アルバック製／型式：GI-PARY

★ 真空配管部品 　NW16　NW25　NW40
　　クランプ、センタリング、チーズ、エルボ、クロス、フレキホース

★ マッチングコントローラー 　STECH製 　 型式：RC-11

★ マスフローコントローラー制御ユニット 　STEC製 　 型式：PAC-S5

★ 高周波電源（RF電源） 　ADTECH製 　 型式：AX-500　500W

★ 膜厚コントローラー 　INFICON製（インフィコン） 　 型式：XTC

★ 電子銃（Electron-gun） 　5kV-2ch

★ マッチングコントローラー 　ULVAC製 　 型式：AMC 6D

★ RF電源／マッチングボックス　ENI製 　 型式：RFC-5

★ マスフローコントローラー　AERA製／S-TEC製 　　 情報はお問い合わせ下さい。

★ RFジェネレーター　　ENI製　　型式：ACG-6B　　 出力：600W 13.56MHZ

★ RFプラズマ電源　アネルバ製 　型式：PRF-125C

★ DCプラズマ電源　ENI製　型式：DCG-100

★ RF電源　ENI製　型式：OEM-10B　 出力：1250W　　

★ ピラニー真空ゲージ　PIC製　Ｔｏｒｒ表示　2SETPOINT

★ アングルバルブ、ゲートバルブ　　　VAT製　フランジ径6インチ、8インチ　他．．．

★ Q-MASS　　　ANELVA製

★ クライオコンプレッサー　へリックステクノロジー製　 型式：8510　　型式：9600

★ クライオコンプレッサー（ヘリウムコンプレッサー）　各種　 情報はお問い合わせ下さい。

★ 真空配管部品　　　ICF規格、ISO規格、JIS規格　チーズ、エルボ、フレキ、真空チャンバー

★ DC電源（スパッタ電源）　　　Advanced Energy製　型式MDXシリーズ　Pinnacle

★ ヘリウムリークディテクター　　　ANELVA製　リークディテクター

★ 電離真空計（イオンゲージ）、サーモカップル真空計　　 情報はお問い合わせ下さい。