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　　真空装置、真空機器、ピラニー真空計、ペニング真空計、真空バルブ、真空フランジ、真空ゲージ

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　　ゲートバルブ
　　VAT製　　 　型式：01034-KE01-0002/0730
　 　 　 　
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　　ピラニー真空計
　　アルバック製　　 　型式：IS02
　 　 　 　
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　　マイクロ波電源　（スパッタ電源）
　　AD-TECH製（アドテックプラズマ）　　 　型式：ARP siries
　 　 　 　
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　　マイクロ波電源　（スパッタ電源）
　　IDX製（アドテックプラズマ）　　 　型式：IMG-2503S
　 　 　 　
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　　電離真空計　（イオンゲージ）
　　アルバック製（ulvac）　　 　型式：GI-TL3
　 　 　 　
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　　膜厚計
　　アルバック製（ulvac）　　 　型式：CRTM-7000
　 　 　 　
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　　マイクロ波電源　（スパッタ電源）
　　IDX製（アドテックプラズマ）　　 　型式：IMG-2502
　 　 　 　
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　　電離真空計（イオンゲージ）
　　アルバック製　　 　型式：GI-M
　 　 　 　
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　　高周波発信機
　　森エンジニアリング製　　 　型式：SFA300EX
　 　 　 　
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　　真空コントローラー・ゲージ
　　MKS製　　 　型式：651CD2S1NJ
　 　 　 　
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　　ピラニー真空計
　　アルバック製　　 　型式：GP-2A
　 　 　 　
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　　DC電源
　　アルバック製　　 　型式：DC-7017SIⅡ
　 　 　 　
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　　真空バルブ　（ゲートバルブ）
　　HVA製　　 　型式：ICF114
　 　 　 　
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　　真空バルブ　（ゲートバルブ）
　　HVA製　　 　型式：ICF86
　 　 　 　
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　　真空バルブ　（アングルバルブ）
　　アルバック製　　 　型式：VULH40
　 　 　 　
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　　真空バルブ　（ゲートバルブ）
　　アルバック製　　 　型式：VUGP40
　 　 　 　
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　　真空バルブ　（ゲートバルブ／ICF114）
　　VAT製　　 　型式：F14-58802-01
　 　 　 　
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　　真空バルブ　（アングルバルブ／NW25）
　　VAT製　　 　型式：26382-KA01-0002/0037
　 　 　 　
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　　マイクロ波電源　（スパッタ電源）
　　IDX製（アドテックプラズマ）　　 　型式：IMG-2502+
　 　 　 　
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　　ゲートバルブ
　　VAT製　　 　型式：01032-CE44-ABM2/0030
　 　 　 　
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　　プロセスモニター／コントローラー
　　アルバック製　　 　型式：STANDAM
　 　 　 　
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　　真空バルブコントローラー
　　インフィコン製　　 　型式：VCC-500
　
　 　 　 　
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　　真空ゲージコントローラー
　　インフィコン製　　 　型式：VGC-023
　
　 　 　 　
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　　RFマッチングボックス
　　JEOL製　　 　型式：EHMN01A
　 　 　 　
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　　真空バルブコントローラー
　　ライボルト製　　 　型式：MEMBRANOVAC　DM11
　
　 　 　 　
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　　真空ゲージコントローラー
　　インフィコン製　　 　型式：COMBIVAC　CM31
　
　 　 　 　
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　　電離真空計・コントローラー
　　アネルバ製　　 　型式：M-832HG
　
　 　 　 　
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　　電離真空計・コントローラー
　　アネルバ製　　 　型式：M-822HG
　
　 　 　 　
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　　ゲートバルブ（ICF253)
　　VAT製　　 　型式：
　 　 　 　
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　　クライオコンプレッサー（ヘリウムコンプレッサー）
　　鈴木商館製　　 　型式：C300K
　 　 　 　
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　　RF電源
　　アステック製 　型式：ARF-1053
　 　 　 　
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　　膜厚コントローラー　（Deposition Contoroller）
　　インフィコン製 　　型式：IC/5
　
　 　 　 　
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　　膜厚コントローラー　（Deposition Contoroller）
　　インフィコン製 　　　型式：XTC/2
　 　 　 　
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　　EB電源　（電子ビーム電源）
　　日新技研製 　　型式：NEB-10W型
　
　 　 　 　
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　　イオン銃電源　（EB電源）
　　PIC製 　　型式：KIP50HC-10
　
　 　 　 　
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　　プラズマ電源　（RF電源）
　　AD-TEC製 　型式：AX-2000Ⅲ、AX-1000LFⅢ
　 　 　 　
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　　RF電源　（プラズマ電源）
　　ENI製 　　　型式：OEM-12B-03、OEM-1250
　 　 　 　
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　　ヘリウムコンプレッサー　（クライオコンプレッサー）
　　鈴木商館製 　型式：CCT-CK11003C
　
　 　 　 　
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　　クライオコンプレッサー　（ヘリウムコンプレッサー）
　　イワタニ製 　型式：CW603

　
　
　 　 　 　
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　　パルスドライバー　（パルス グラディエント ドライバ）
　　バリアン製（VARIAN） 　　　型式：L-700

　
　 　 　 　
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　　RF電源　（プラズマ電源）
　　KYOSAN製（京三） 　　　5kW
　 　 　 　
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　　RF電源　（プラズマ電源）
　　AD-TEC製 　　　型式：AX-1000Ⅱ、AX-600Ⅲ-EI
　 　 　 　
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　　compact FULL Range Gauge　（NW25）
　　バリアン製 　　　型式：PKR-251

　 　 　 　
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　　ゲートバルブ　（ICF152）
　　FUJI SEIKI製 　　　型式：BV-4AX0-HF

　 　 　 　
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　　アングルバルブ　（NW25）
　　バリアン製　　型式：L6-281-302 　　

　 　 　 　
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　　真空チャンバー　（ICF152）
　　アネルバ製 　　

　 　 　 　
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　　サーモカップル真空計　（サーモカップルバキュームゲージ）
　　アネルバ製 　　　型式：M-012DM

　 　 　 　
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　　ハイボルテージ直流電源　（定電圧・定電流直流電源）
　　グラスマンジャパン製 　　　型式：PS/KL002.3P-YPS

　 　 　 　
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　　クライオコンプレッサー　（ヘリウムコンプレッサー）
　　鈴木商館製　　型式：CCT-CK11003GA 　　（アイシン　：　TAC221LA）

　 　 　 　
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　　ピラニー真空計／真空ゲージ
　　アルバック製　　　型式：GI-PARY
　 　 　 　
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　　アングルバルブ　（ICF114）
　　アネルバ製　　　型式：
　
　 　 　 　
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　　アングルバルブ　（ICF114）
　　VAT製　　　型式：
　 　
　 　 　 　
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　　アングルバルブ　（ICF152）
　　アネルバ製　　　型式：
　
　 　 　 　
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　　真空排気ユニット
　　PIC製　 　型式：‐‐‐‐‐
　 　
　 　 　 　
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　　RF電源　（プラズマ電源）
　　AD-TEC製 　　　型式：TX series

　 　 　 　
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　　RF電源　（プラズマ電源）
　　アドバンスエナジー製 　　　型式：PDX-500

　
　
　 　 　 　
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　　RF電源　（プラズマ電源）
　　アルバック製 　　　型式：RFS-2780A

　
　
　 　 　 　
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　　高真空用電磁弁
　　CKD製 　　　型式：HVB112-X0309

　 　 　 　
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　　真空配管部品　（NW25)
　　クランプ、センタリング、チーズ、エルボ、クロス、フレキ

　 　 　 　
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　　直動式電磁弁
　　CKD製 　　　型式：USG2-M5-2

　 　 　 　
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　　RF電源（高周波電源）／マッチングボックス
　　ENI製　　　型式：RFC-5
　 　 　 　
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　　RF電源（高周波電源）
　　アドテック製（AD-TECH）　型式：AX-1000Ⅲ

　 　
　 　
　 　 　 　
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　　RFプラズマ電源（高周波電源）／マッチングボックス
　　AD-TEC製（アドテック製）　　　型式：AX-3000Ⅲ
　
売却済 　 　
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　　電子銃（Electron-gun）
　　5kV　2ch

　 　 　 　
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　　マッチングコントローラー
　　ASTECH製　　型式：RC-11　　（AUTOMATIC MATCHING CONTROLLER）

　
　 　 　 　
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　　マスフローコントローラー制御ユニット
　　STECH製　　型式：PAC-S5

　
　
　 　 　 　
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　　高周波電源（RF電源）
　　ADTECH製　　型式：AX-500

　
　
　 　 　 　
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　　高周波電源（RF電源）
　　アネルバ製　　型式：PRF-125C
　 　 　 　
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　　膜厚コントローラー
　　INFICON製（インフィコン）　　型式：XTC

　
　
　 　 　 　
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　　マッチングコントローラー
　　ULVAC製　　型式：AMC 6D

　
　
　 　 　 　
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　　マスフローコントローラー
　　AERA製／S-TEC製　各種

　



　 　 　 　
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　　RF電源／RFジェネレーター
　　ENI製　　型式：ACG-6B　　　出力：600W 13.56MHZ

　



　 　 　 　
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　　Q-MASS　質量分析器
　　アネルバ製　ANELVA製
　 　
　


ANELVA製

質量分析器
　 　 　 　
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　　クライオコンプレッサー　ヘリウムコンプレッサー
　　各種
　 　
　



　 　 　 　
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　　ピラニー真空計
　　PIC製　Ｔｏｒｒ表示　2SETPOINT



　 　 　 　
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　　プラズマ電源（DC電源）
　　ENI製 　型式：DCG-100
　
　 　 　 　
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　　DC電源（スパッタ電源）
　　アドバンスドエナジー製 　型式：MDX pinnacle
　
　
　 　 　 　
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　　サーモカップル真空計
　　
　
　
　 　 　 　
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　　高周波電源（RF電源）
　　ENI製 　型式：OEM-10B

　 　 　 　
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　　Deposition Controller
　　INFICON製　型式：IC/5


INFICON製

型式：IC/5
　 　 　 　
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　　アングルバルブ （真空バルブ）
　　VAT製　型式：KA41
　　アネルバ製　型式：V-025RV-MN　
　 　 　 　
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　　ゲートバルブ （真空バルブ）
　　VAT製　フランジ径6インチ、8インチ
　　　　　　　　型式：JA44　型式：JE01　型式：CA24　型式：JE28　


ゲートバルブ

ICFフランジ
VF/VCフランジ
インチサイズ　　各種
　 　 　 　
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　　真空配管部品
　　チーズ配管、エルボ配管、フレキ配管　各種　他．．．


真空配管部品

フレキホース
センターリング、クランプ
メクラフランジ
クロス、エルボ、チーズ配管

　 　 　 　
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